ເຄື່ອງກໍາເນີດໄນໂຕຣເຈນໂມດູນຄວາມບໍລິສຸດສູງພິເສດສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ

ເຄື່ອງກໍາເນີດໄນໂຕຣເຈນໂມດູນຄວາມບໍລິສຸດສູງພິເສດສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, ພັດທະນາໂດຍໂຮງງານຜະລິດເຕັກໂນໂລຢີ GSE, ອອກຈາກໂຄງສ້າງການຕອງດຽວຂອງອຸປະກອນການຜະລິດໄນໂຕຣເຈນແບບດັ້ງເດີມ. ມັນຮັບຮອງເອົາເຫດຜົນຂອງຂະບວນການສອງລະດັບຂອງ "ການຜະລິດໄນໂຕຣເຈນທໍາອິດ, ຫຼັງຈາກນັ້ນການຊໍາລະລ້າງແລະການຫລອມໂລຫະຢ່າງເລິກເຊິ່ງ", ນໍາໃຊ້ອາກາດບີບອັດປົກກະຕິຂອງໂຮງງານເປັນແຫຼ່ງອາຍແກັສ. ໂດຍຜ່ານຫນ່ວຍງານແຍກຫຼັກ, ການຜະລິດໄນໂຕຣເຈນພື້ນຖານແມ່ນສໍາເລັດ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ, ໂດຍຜ່ານສະຖາປັດຕະຍະກໍາບໍລິສຸດປະສົມປະສານຫຼາຍລະດັບ, ຕິດຕາມອົກຊີເຈນ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ຕົກຄ້າງ, ແລະອະນຸພາກທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງມີຄວາມສ່ຽງສູງທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບົກຜ່ອງຂອງຂະບວນການໃນອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກ, ໂດຍສະເພາະ. ນີ້ຮັບປະກັນວ່າບັນຫາການຜະລິດເຊັ່ນ: ການຜຸພັງໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງຄວາມແມ່ນຍໍາ, pinholes, ຄວາມບົກຜ່ອງຂອງການເຄືອບ, ແລະການເຊື່ອມໂລຫະທີ່ບໍ່ດີຖືກລົບລ້າງຢູ່ໃນແຫຼ່ງຂອງການສະຫນອງອາຍແກັສ.

ເຄື່ອງຈັກທັງຫມົດໄດ້ຖືກອອກແບບຕາມມາດຕະຖານຂອງຫ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດເອເລັກໂຕຣນິກ, ປະກອບດ້ວຍການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນ. ຮ່າງກາຍເຄື່ອງບໍ່ມີຂີ້ຝຸ່ນສະສົມມຸມຕາຍແລະງ່າຍທີ່ຈະເຮັດຄວາມສະອາດແລະຮັກສາ. ມັນເຫມາະສົມກັບຂໍ້ກໍານົດການຄວບຄຸມທີ່ສະອາດຂອງກອງປະຊຸມທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນ semiconductor ແລະກອງປະຊຸມການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ແລະຈະບໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດຂັ້ນສອງຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

ມັນຍັງສະຫນັບສະຫນູນການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງ gradients ຄວາມບໍລິສຸດ. ອີງຕາມມາດຕະຖານການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຂະບວນການທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ການຫຸ້ມຫໍ່ຊິບ, ການປຸງແຕ່ງ wafer, photoelectroplating, ແລະການເຊື່ອມໂລຫະອົງປະກອບຄວາມແມ່ນຍໍາ, ມັນສາມາດຜະລິດອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກຊັ້ນສູງທັງຫມົດ.

ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວດໍາເນີນການໃນລັກສະນະປິດອັດຕະໂນມັດ, ມີຄວາມບໍລິສຸດການຜະລິດອາຍແກັສທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ຕົວກໍານົດການຈຸດນ້ໍາຕົກຄ້າງ, ແລະຄວາມສະອາດສູງທີ່ສຸດຂອງແຫຼ່ງອາຍແກັສ. ມັນແກ້ໄຂຈຸດເຈັບປວດຂອງອຸດສາຫະກໍາຢ່າງສົມບູນຂອງອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນຂວດພື້ນເມືອງແລະການສະຫນອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ, ເຊັ່ນ: ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ມີການປ່ຽນແປງ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍລິໂພກສູງ, ແລະການຂັດຂວາງການສະຫນອງອາຍແກັສ. ມັນສາມາດສະຫນອງການປ້ອງກັນອາຍແກັສ inert ທີ່ບໍ່ມີມົນລະພິດໄດ້ຕະຫຼອດ 24 ຊົ່ວໂມງ, ໄດ້ມາດຕະຖານ, ແລະບໍ່ມີມົນລະພິດສໍາລັບວິສາຫະກິດການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີປະສິດຕິຜົນ, ປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການຂູດຂອງຂະບວນການທີ່ຊັດເຈນແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສໃນໄລຍະຍາວ. ມັນເປັນອຸປະກອນສະຫນັບສະຫນູນຫຼັກສໍາລັບການຜະລິດມາດຕະຖານໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກລະດັບສູງ, semiconductor, ແລະ optoelectronic.

ການຂະຫຍາຍເນື້ອຫາຫຼາຍມິຕິ

1. R&D ແລະທັດສະນະການຜະລິດ: ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສແລະຄວາມສະອາດໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາໄດ້ພັດທະນາໂດຍສະເພາະເຄື່ອງປັ່ນໄຟໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີໂມດູນການເຮັດຄວາມສະອາດສະເພາະສໍາລັບຂະແຫນງນີ້.

2. ຈາກທັດສະນະຂອງແຫຼ່ງອາຍແກັສແລະຂະບວນການ: ອຸປະກອນນໍາໃຊ້ອາກາດບີບອັດເປັນແຫຼ່ງອາຍແກັສຕົ້ນຕໍ, ທໍາອິດຜະລິດໄນໂຕຣເຈນໂດຍຜ່ານໂມດູນ PSA, ຫຼັງຈາກນັ້ນເຊື່ອມຕໍ່ກັບລະບົບການຊໍາລະລ້າງຫຼາຍຂັ້ນຕອນສໍາລັບການກໍາຈັດອອກຊິເຈນ, ນ້ໍາ, ແລະຮອຍເປື້ອນຢ່າງລະອຽດ.

3. ທັດສະນະຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ອຸປະກອນນີ້ແນໃສ່ພາກສ່ວນການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກລະດັບສູງແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: ການປຸງແຕ່ງ wafer, ການເຊື່ອມ chip, ການຫຸ້ມຫໍ່ semiconductor, ການເຊື່ອມໂລຫະອົງປະກອບຄວາມແມ່ນຍໍາ, ແລະການເຄືອບເອເລັກໂຕຣນິກ optical.

ຄຸນນະສົມບັດຜະລິດຕະພັນທີ່ສໍາຄັນ

1. ການຊໍາລະລ້າງເລິກຫຼາຍຂັ້ນຕອນດ້ວຍ gradients ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້: ເຄື່ອງກໍາເນີດໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກມີໂມດູນການຊໍາລະລ້າງເລິກທີ່ອຸທິດຕົນທີ່ນໍາໃຊ້ຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດແບບປະສົມ, ເຮັດໃຫ້ການປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມບໍລິສຸດໄນໂຕຣເຈນເຖິງ 99.9999%, ມີການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດກ່ຽວກັບລະດັບອົກຊີເຈນທີ່ parameter ແລະ dew point.

2. ການອອກແບບທີ່ອຸທິດຕົນສໍາລັບຫ້ອງສະອາດ: ຫນ່ວຍບໍລິການທັງຫມົດຮັບຮອງເອົາການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ບໍ່ມີຂີ້ຝຸ່ນດ້ວຍການປະທັບຕາທີ່ບໍ່ມີຮອຍຕໍ່ແລະຫນ້າດິນທີ່ສະອາດໄດ້ງ່າຍ, ກໍາຈັດເຂດຕາຍການສະສົມຂອງຂີ້ຝຸ່ນ, ປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານການຈັດການຫ້ອງສະອາດຊັ້ນຮຽນແບບເອເລັກໂຕຣນິກ.

ຂໍ້ມູນສະເພາະດ້ານວິຊາການ